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製品情報フォトマススクケース

8インチ用マスクケース(8012、8020および8025ケース)

8インチ用マスクケース(8012、8020および8025ケース)

 

【製 品 名】 8012、8020および8025レチクルケース
【 用 途 】 マスク及びレチクル用にご使用ください。
【収納枚数】 1枚(平置き)
【適応マスク】 8012マスク、8020マスクおよび8025用ケースです。
【適応ガラス厚】 t=3.0㎜(0.12in)、4.8mm(5.0㎜兼用、0.20in)および6.4㎜(0.25in)用です。
【 材 質 】 ・持続性制電樹脂(通常在庫品:薄紫色透明)。
・他の材料もお客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供させて頂きます。
【 その他 】 ・制電樹脂の使用により収納物を静電剥離から守る事ができ、ケース自体も埃等を寄せ付けません。
・両面ペリクル付マスクにも対応いたします。積み重ね収納が可能です。
・マスク支持部に制電エラストマーを使用し、従来のマスクケースに比べ発塵の可能性を更に低くいたしました。
・上下ケースにパッキンをはさみ密閉性も優れます。スライドノブによる開閉方式で、発塵の発生の可能性を極めて低くいたしました。

 

レチクルケース

レチクルケース

 

【製 品 名】 レチクルケース
【 用 途 】 ペリクル付レチクル及びマスク用にご使用ください。
両面ペリクル付まで対応いたします。
【収納枚数】 1枚
【適応マスク】 5、6、7および9インチ用がございます。
5インチ~7インチ用まではケース外寸・外形は共通です。
9インチ用は縦・横の大きさが変わります。
【適応ガラス厚】 ご相談下さい。様々な適応厚さを取り揃えてございます。
【 材 質 】 本体:持続性制電樹脂(通常在庫品は透明)クリップ:PP
【 その他 】 ・フォトマスクケース用途として評価および実績のある、各種持続性制電樹脂の中から、お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供させて頂きます。
・低アウトガスかつ十分な制電性能を兼ね備える樹脂を使用し、収納物並びに雰囲気の汚染や静電剥離から保護します。
・マスクとの接触を最低限に抑え、コンタミの発生を防ぎます。
・ケース自体も埃等を寄せ付けません。クリップによりケースを密閉し、積み重ね及び縦置きが可能です。

 

マスクケース

マスクケース

 

【製 品 名】 マスクケース
【 用 途 】 マスク及びレチクル用にご使用ください。
ペリクル付には対応いたしておりません。
【収納枚数】 1枚(平置き)
【適応マスク】 3、4、5、6および7インチ用がございます。
【適応ガラス厚】 お問い合わせ下さい。
【 材 質 】 1.持続性制電樹脂(通常在庫品は透明)お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供させて頂きます。
2.スチロール(透明)汎用スチロールの使用により廉価となっております。制電性はございません。
【 その他 】 ・製電樹脂の使用により収納物を静電剥離から守る事ができ、ケース自体も埃等を寄せ付けません。
・コンパクトであり、クリーンルーム内の占有面積を考える点で優位です。積み重ね収納が可能です。
・スライドノブによる開閉方式で、コンタミの発生が少ない構造です。

 

マスクボックス

マスクボックス

 

【製 品 名】 マスクボックス
【 用 途 】 マスク及びレチクル用にご使用ください。
マスクを縦に収納します。
【収納枚数】 10枚入り(縦収納)
【適応マスク】 2.5インチ~6インチ用がございます。
【適応ガラス厚】 お問い合わせ下さい。
【 材 質 】 1.持続性制電樹脂(通常在庫品は透明または半透明)お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供させて頂きます。
2.スチロール(透明)汎用スチロールの使用により廉価となっております。制電性はございません。
【 その他 】 製電樹脂の使用により、収納物を静電気によるダメージ(静電剥離等)から守る事ができ、ケース自体も埃等を寄せ付けません。
積み重ね収納が可能です。
各種緩衝材もご用意しております。

 

オーダーメイドのマスクケース類

【製 品 名】マスクケースまたはマスクボックス(都度指定、板加工による特注品)
【 用 途 】既製金型の無いマスクケース(大きなサイズ、リニアスケール用等のマスクの収納ケースや、スポットで必要となる各種ケース類)につきましてはオーダーメイドにて1点から承る手加工品がご提供出来ます。
【収納枚数他】1枚平置きタイプから複数枚用縦置きタイプまで、ご依頼に応じて設計・製作いたします。
【適応ガラス】御社ご注文のとおり。
【 材 質 】お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供させて頂きます。
御社のご使用目的に沿って協議・設計する特注品です。

 

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