製品情報

フォトマスクケース

8インチ用マスクケース(8012、8020および8025ケース)

製品名 8012、8020および8025レチクルケース
用途 マスクおよびレチクル用にご使用ください。
収納枚数 1枚(平置き)
適応マスク 8012マスク、8020マスクおよび8025用ケースです。
適応ガラス厚 t=3.0㎜(0.12in)、4.8㎜(5.0㎜兼用、0.20in)および6.4㎜(0.25in)用です。
材質 ・持続性制電樹脂(通常在庫品:薄紫色半透明)
・他の材料もお客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
その他 ・フォトマスクケース用途に開発された低アウトガスの制電樹脂の採用により、収納物を静電剥離から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。
・両面ペリクル付マスクにも対応いたします。積み重ね収納が可能です。
・マスク支持部に制電エラストマーを使用し、従来のマスクケースに比べ発塵の可能性をさらに低くいたしました。
・上下ケースにパッキンをはさみ密閉性も優れます。スライドノブによる開閉方式で、発塵の発生の可能性を極めて低くいたしました。

レチクルケース

レチクルケース
製品名 レチクルケース
用途 ペリクル付レチクルおよびマスク用にご使用ください。
両面ペリクル付まで対応いたします。
収納枚数 1枚
適応マスク 5、6、7および9インチ用がございます。
5インチ~7インチ用まではケース外寸・外形は共通です。
9インチ用は縦・横の大きさが変わります。
適応ガラス厚 ご相談ください。様々な適応厚さを取り揃えてございます。
材質 本体:持続性制電樹脂(通常在庫品は透明)
クリップ:PE
その他 ・フォトマスクケース用途として評価および実績のある、各種持続性制電樹脂の中から、お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
・低アウトガスかつ十分な制電性能を兼ね備える樹脂を使用し、収納物並びに雰囲気の汚染や静電剥離から保護します。
・マスクとの接触を最低限に抑え、コンタミの発生を防ぎます。
・ケース自体も埃などを寄せ付けません。クリップによりケースを密閉し、積み重ねおよび縦置きが可能です。

マスクケース

マスクケース
製品名 マスクケース
用途 マスクおよびレチクル用にご使用ください。
ペリクル付には対応いたしておりません。
収納枚数 1枚(平置き)
適応マスク 3、4、5、6および7インチ用がございます。
適応ガラス厚 お問い合わせください。
材質 1.持続性制電樹脂(通常在庫品は透明)お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
2.スチロール(透明)汎用スチロールの使用により廉価となっております。制電性はございません。
その他 ・制電樹脂の使用により収納物を静電剥離から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。
・コンパクトであり、クリーンルーム内の占有面積を考える点で優位です。積み重ね収納が可能です。
・スライドノブによる開閉方式で、コンタミの発生が少ない構造です。

マスクボックス

マスクボックス
製品名 マスクボックス
用途 マスクおよびレチクル用にご使用ください。
マスクを縦に収納します。
収納枚数 10枚入り(縦収納)
適応マスク 2.5インチ~6インチ用および9インチ用がございます。
適応ガラス厚 お問い合わせください。
材質 1.持続性制電樹脂(通常在庫品は透明または半透明)お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
2.ポリスチレン(透明)の使用により廉価となっております。制電性はございません。
その他 制電樹脂の使用により、収納物を静電気によるダメージ(静電剥離など)から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。
積み重ね収納が可能です。
各種緩衝材もご用意しております。

オーダーメイドのマスクケース類

製品名 マスクケースまたはマスクボックス(都度指定、板加工による特注品)
用途 既製金型の無いマスクケース(大きなサイズ、リニアスケール用などのマスクの収納ケースや、スポットで必要となる各種ケース類)につきましてはオーダーメイドにて1点から承る手加工品がご提供できます。
収納枚数 1枚平置きタイプから複数枚用縦置きタイプまで、ご依頼に応じて設計・製作いたします。
適応ガラス厚 御社ご注文のとおり。
材質 お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
御社のご使用目的に沿って協議・設計する特注品です。

フランジキャップ

CFフランジキャップ(LDPE製)

CFフランジキャップ(LDPE製)
呼び径(㎜) 材質 最小販売ロット(ヶ) 製品名
1 34 Φ34フランジキャップ
2 70 Φ70フランジキャップ
3 114 Φ114フランジキャップ
4 152 Φ152フランジキャップ
5 203 Φ203フランジキャップ
6 253 Φ254フランジキャップ

その他

株式会社シーガルでは、その他プラスチック製品(特に弱電関係の製品)も数多く手がけております。下記はその一例です。

チップトレイ

チップトレイにつきましては、要求事項に沿って各種材料のご提案をいたしております。