製品情報フォトマスクケース

製品情報フォトマスクケース

8インチ用マスクケース（8012、8020および8025ケース）

【製品名】	8012、8020および8025レチクルケース
【用途】	マスクおよびレチクル用にご使用ください。
【収納枚数】	1枚（平置き）
【適応マスク】	8012マスク、8020マスクおよび8025用ケースです。
【適応ガラス厚】	t=3.0㎜（0.12in）、4.8mm（5.0㎜兼用、0.20in）および6.4㎜（0.25in）用です。
【材質】	・持続性制電樹脂（通常在庫品:薄紫色半透明） ・他の材料もお客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。
【その他】	・フォトマスクケース用途に開発された低アウトガスの制電樹脂の採用により、収納物を静電剥離から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。 ・両面ペリクル付マスクにも対応いたします。積み重ね収納が可能です。 ・マスク支持部に制電エラストマーを使用し、従来のマスクケースに比べ発塵の可能性をさらに低くいたしました。 ・上下ケースにパッキンをはさみ密閉性も優れます。スライドノブによる開閉方式で、発塵の発生の可能性を極めて低くいたしました。

レチクルケース

【製品名】	レチクルケース
【用途】	ペリクル付レチクルおよびマスク用にご使用ください。 両面ペリクル付まで対応いたします。
【収納枚数】	1枚
【適応マスク】	5、6、7および9インチ用がございます。 5インチ~7インチ用まではケース外寸・外形は共通です。 9インチ用は縦・横の大きさが変わります。
【適応ガラス厚】	ご相談ください。様々な適応厚さを取り揃えてございます。
【材質】	本体:持続性制電樹脂（通常在庫品は透明）クリップ:PE
【その他】	・フォトマスクケース用途として評価および実績のある、各種持続性制電樹脂の中から、お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 ・低アウトガスかつ十分な制電性能を兼ね備える樹脂を使用し、収納物並びに雰囲気の汚染や静電剥離から保護します。 ・マスクとの接触を最低限に抑え、コンタミの発生を防ぎます。 ・ケース自体も埃などを寄せ付けません。クリップによりケースを密閉し、積み重ねおよび縦置きが可能です。

マスクケース

【製品名】	マスクケース
【用途】	マスクおよびレチクル用にご使用ください。 ペリクル付には対応いたしておりません。
【収納枚数】	1枚（平置き）
【適応マスク】	3、4、5、6および7インチ用がございます。
【適応ガラス厚】	お問い合わせください。
【材質】	1.持続性制電樹脂（通常在庫品は透明）お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 2.スチロール（透明）汎用スチロールの使用により廉価となっております。制電性はございません。
【その他】	・製電樹脂の使用により収納物を静電剥離から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。 ・コンパクトであり、クリーンルーム内の占有面積を考える点で優位です。積み重ね収納が可能です。 ・スライドノブによる開閉方式で、コンタミの発生が少ない構造です。

マスクボックス

【製品名】	マスクボックス
【用途】	マスクおよびレチクル用にご使用ください。 マスクを縦に収納します。
【収納枚数】	10枚入り（縦収納）
【適応マスク】	2.5インチ~6インチ用および9インチ用がございます。
【適応ガラス厚】	お問い合わせください。
【材質】	1.持続性制電樹脂（通常在庫品は透明または半透明）お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 2.ポリスチレン（透明）の使用により廉価となっております。制電性はございません。
【その他】	製電樹脂の使用により、収納物を静電気によるダメージ（静電剥離など）から守れ、ケース自体も埃などを寄せ付けません。 積み重ね収納が可能です。 各種緩衝材もご用意しております。

オーダーメイドのマスクケース類

【製品名】	マスクケースまたはマスクボックス（都度指定、板加工による特注品）
【用途】	既製金型の無いマスクケース（大きなサイズ、リニアスケール用などのマスクの収納ケースや、スポットで必要となる各種ケース類）につきましてはオーダーメイドにて1点から承る手加工品がご提供できます。
【収納枚数他】	1枚平置きタイプから複数枚用縦置きタイプまで、ご依頼に応じて設計・製作いたします。
【適応ガラス】	御社ご注文のとおり。
【材質】	お客様の要求事項に応じて、最適なものをご提案・ご提供いたします。 御社のご使用目的に沿って協議・設計する特注品です。